设备型号：Crossbeam 350

设备介绍：

     Crossbeam 350拥有蔡司Gemini I镜筒，物镜无漏磁的设计在兼容磁性样品的同时有效避免对离子束的干扰，实现边切边看的功能；Ion-sculptor是蔡司公司最新设计聚焦离子束离子枪，其具备高分辨、大束流、加工速度快、低电压对样品非晶损伤小、稳定性好、寿命长等特点，可快速实现TEM样品制备、微纳加工等多种工作。配有牛津能谱仪（EDS）以及电子背散射衍射仪（EBSD），可实现原位元素成分及晶体取向等分析。

技术参数：

• 二次电子分辨率：0.9nm@15kV，1.7nm@1kV

• 聚焦离子束分辨率：3.0nm@30kV

• 电子束加速电压：0.02~30kV

• 离子束加速电压：0.5~30kV

• 样品台最大移动行程：X=100mm,Y=100mm,Z=50mm

主要功能：

• 微纳加工

• 微观形貌观察

• 成分（EDS）及结构（EBSD）分析

• TEM样品制备

• APT样品制备

应用实践：

制样及测试细节咨询：

联系人：程老师

咨询电话：13683656917