目前，在国内应用广泛、工艺技术较为成熟的蓄热式热氧化炉(RTO)主要为三室RTO（RTO工艺流程图见图1），即RTO分为三个蓄热室，其中蓄热室填充床为耐热、耐腐蚀的陶瓷材料填充，确保RTO热回收率在95%以上，以便更好的净化去除VOCs。
第二次循环：废气由蓄热室B进入，则由蓄热室C排出，蓄热室A进行反吹清扫；
第三次循环：废气由蓄热室C进入，则由蓄热室A排出，蓄热室B进行反吹清扫；
周而复始，循环操作。
图1 工艺流程图
2.RTO及相关设施危害因素分析
（1）企业在原设计中并未考虑使用RTO
（2）仪表报警、连锁设施不足
（3）系统未设置相应的安全设施
（4）工艺流程设置不合理
3.安全对策措施
企业应根据自身实际工况，包括废气来源、组成、浓度变化、气量大小等，在设计时充分考虑可能产生的不利因素环节，根据实际需要增设相应附属设施和安全设施。着重注意以下几个方面。
去除不宜进入RTO的有机废气组分。如采用冷凝方式回收部分高浓度有机废气组分；处理前设置水喷淋装置吸收洗涤酸、碱类气体，保证进入RTO有机气体达到进气指标要求。
严格控制进炉前废气浓度在其有机物的爆炸极限下限(LEL)的25%以下（GB20101），否则应采用空气强制稀释。
（3）保证废气浓度、气量相对稳定
在有机废气进入RTO前，设置足够容积的缓冲罐，增加废气的停留时间，较好地混合气体浓度，并根据需要补充风量，避免高浓度、大气量废气直接进入RTO。
对关键操作参数实时监测和进行连锁控制，实时监测风机、阀门、燃烧器、酸碱度、废气浓度、炉膛和废气管道压力的参数变化，并按工艺安全要求设置相应连锁。如设置气体浓度与新风，有效降低有机废气浓度或紧急情况下放空。
废气管道设置防爆膜、防止管道堵塞的泄压阀，缓冲罐上设置泄压阀，RTO炉膛设防爆口等安全设施，采用防爆风机。
缓冲罐至RTO管线等位置设置回火装置（阻火器等）；紧急排放阀宜设置远程独立控制，防止在非正常情况下，气流堵塞，影响上游设置。
编制符合工艺实际的《安全操作规程》，并对员工进行系统培训，熟悉开、停工及紧急状态的操作要求。
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