寻机光刻
参观中微公司
“机械力量”第十一期
- PART 01 -
公司简介
中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称：中微公司）是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司。以微观加工为核心的半导体设备，是数码时代的战略性基础。自2004年创立以来，中微公司致力于为全球集成电路和泛半导体制造商提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务，是所在领域中国的领军企业和世界的新星。
- PART 02 -
参观设备模型与洁净室
在刻蚀机械工程部副总监周女士的带领下，实践成员参观了位于公司大厅的刻蚀机设备模型以及作为设备组装车间的洁净室。
- PART 03 -
与清华校友共进午餐
当日中午，实践成员与清华校友们共进午餐。期间，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士也来到会议室，与同学们进行了简单交流。
- PART 04 -
座谈会交流
午餐后，实践成员参加了清华校友，副总裁吴女士主持的座谈会，就刻蚀机的工作原理与中微公司当前的运营情况进行了简单的交流讨论。
问答交流
Q1：中微在市场竞争中的优势是什么？
A1：中微的生态链和别人不一样，理念也更加先进。我们为技术的创新，设备的差异化和IP保护而开发。
Q2：中微为何要选择研发双反应腔刻蚀机？
A2：中微在设计流程前，会先进行市场调研，去了解客户需要什么，同时也要了解别人的方案，看自己是否有优势和领域价值。我们发现中微做刻蚀机，有优势，研发双反应腔能够提高效率降低成本。
Q3：密封圈是刻蚀机中要使用的重要器件。请问刻蚀机对密封圈有什么样的要求呢？
A3：在CCP工艺中的化学物理刻蚀，有很大部分的惰性气体，可以使用工业中正常使用的密封圈。但ICP工艺应用的化学刻蚀需要使用很多的腐蚀性气体，需要一些特制的耐腐蚀性更好的密封圈。
- PART 05 -
参观睿励公司
座谈会结束后，实践成员接着参观了睿励仪器，进一步了解工艺检测设备与光学检测相关内容。
同学感想
今天在参观中微公司的过程中，我对刻蚀机的工艺有了进一步的了解，与尹总和清华校友的交流中也收获了很多，更深入认识到了创新的重要性，下午最后参观的睿励公司也是我进一步了解了芯片的光学检测。
——李安豪
本次中微的参观感触颇深，尤其是尹董事长的讲话，一方面勉励了我们追求坚持理想的决心，另一方面也点燃了我内心的创新热情，是我意识到多角度新颖地想问题的重要意义。此外，实验室的现场参观和在睿励仪器与技术人员的座谈交流都很受启发。
——李昕达
今天在和中微公司的沟通中增进了对于刻蚀和沉积技术的了解，第一次参观半导体公司车间也带来了新鲜的体验，下午的讲座让我对于芯片的检测技术也有一个较好的感知。
——郑宏林
供稿：“机械力量”第十一期寻机光刻支队
审核：周骏 林君健
机械之声微信平台
清华大学机械工程系
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