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仪器共享:聚焦离子束电子束双束显微镜

   日期:2024-01-15 20:41:44     来源:网络整理    作者:本站编辑    浏览:19    评论:0    

设备型号:Crossbeam 350

设备介绍:


     Crossbeam 350拥有蔡司Gemini I镜筒,物镜无漏磁的设计在兼容磁性样品的同时有效避免对离子束的干扰,实现边切边看的功能;Ion-sculptor是蔡司公司最新设计聚焦离子束离子枪,其具备高分辨、大束流、加工速度快、低电压对样品非晶损伤小、稳定性好、寿命长等特点,可快速实现TEM样品制备、微纳加工等多种工作。配有牛津能谱仪(EDS)以及电子背散射衍射仪(EBSD),可实现原位元素成分及晶体取向等分析。

技术参数:


  • 二次电子分辨率:0.9nm@15kV,1.7nm@1kV

  • 聚焦离子束分辨率:3.0nm@30kV

  • 电子束加速电压:0.02~30kV

  • 离子束加速电压:0.5~30kV

  • 样品台最大移动行程:X=100mm,Y=100mm,Z=50mm

主要功能:


  • 微纳加工

  • 微观形貌观察

  • 成分(EDS)及结构(EBSD)分析

  • TEM样品制备

  • APT样品制备

应用实践:

制样及测试细节咨询:


联系人:程老师

咨询电话:13683656917

 
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