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本标准适用于采用喷淋式化学蚀刻减薄工艺生产电子显示玻璃的减薄设备的设计、制造、验收。标准对成套设备性能要求,以及相关原片玻璃清洗单元、蚀刻减薄单元和成品玻璃清洗单元、蚀刻液配制单元、蚀刻液回收单元、清洗水制备单元和电气及控制单元等提出了技术要求,还对安全环保、性能测试、安装验收等进行了规定。
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