直击纳博会·走近材料、设备与芯片厂商
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纳米技术影响着21世纪一系列高新技术的产生和发展，是产业创新博弈的“必争之地”。
近日由中国微米纳米技术学会、中国国际科学技术合作协会、国家第三代半导体技术创新中心（苏州）主办，苏州纳米科技发展有限公司承办的第十三届中国国际纳米技术产业博览会（下文简称“纳博会”）在苏州成功举办。本次大会邀请到数十位国内外知名学者、专家以及300多位高校研究院所、上市公司、知名企业机构的顶级专家代表出席并演讲，聚焦微纳制造、第三代半导体、纳米新材料、纳米大健康等热门领域，以1场大会主报告、11场专业论坛、344场行业报告、22000平米展览、2场大赛为主体。
其中，展区面积达22000㎡，300多家展商参展，汇聚了全球纳米技术领域最新技术产品和创新应用2200多件，累计吸引参会参展嘉宾总人数达25795人，规模空前。半导体行业观察也受邀参加了本次纳博会，在现场与诸多参展厂商进行了交流。
爱发科：面向MEMS的溅射与刻蚀技术
在本次纳博会现场，爱发科商贸（上海）有限公司中心长王禹接受了半导体行业观察的采访。
爱发科株式会社作为综合真空设备制造商，以真空技术为核心，将其应用于半导体、FPD、电子、新能源、真空系统配套设备以及先端材料等各个不同领域。
当前时代，随着新兴的电子半导体各产业发展，爱发科不断拓展市场，发展技术新路径，探讨更多的商业模式。2006年7月，作为爱发科集团的全资子公司，爱发科商贸（上海）有限公司正式成立。在中国大陆形成设备销售及售后服务的网络体系，不断优化爱发科在全国的客户服务据点分布，目前共设有13个服务网点，持续为客户提供完善的一体化服务和完善的售后服务保障，是专业的真空薄膜综合解决方案提供商。
关于产品方面，王禹介绍道，在半导体制造设备领域，公司提供应用于各种半导体工艺的真空系统，包括溅射、氧化成膜、Pre-Clean等设备。同时为了满足技术发展，符合下一代设计规范的需要，公司提供应用于新材料成膜的先进技术；在电子器件制造设备上，爱发科能提供应用于各种电子器件制造工艺的真空系统，产品系列包括高真空蒸发设备、用于各种金属、非金属成膜的溅射设备、等离子CVD设备、刻蚀设备、去胶设备、用于Si-IGBT和SiC功率器件的离子注入设备。面向化合物半导体、MEMS传感器、RF滤波器、硅基OLED显示和VCSEL激光器等领域提供设备解决方案。
针对MEMS发展趋势，王禹表示，近年来MEMS器件技术朝着小型化、集成化、多功能化和综合性能多样化等方面不断进化，成为各种传感器、执行器不可或缺的存在。其中压电材料的使用能够为MEMS的技术演进做出贡献。
在压电材料中具有优秀压电特性的PZT方面，爱发科具备压电MEMS的制造工艺和必要技术，在PZT薄膜工艺全球领先，拥有通过强介电体溅射技术在CMOS上PZT-MEMS成膜的量产设备经验，能够提供面向压电MEMS的PZT溅射工艺和PZT薄膜刻蚀工艺在内的完善的解决方案。
对于参加本次展会的预期，王禹认为，可以借此机会了解市场动向和前沿技术。同时还能够接触到产业链上下游伙伴，加深彼此了解，更好的为市场和客户提供服务，进一步推动产业链向前发展。
深圳腾盛精密：国产半导体设备亟需破局
“Tensun腾盛精密创立于2006年7月，一直专注于精密点胶与精密切割（划片）两大产品线，深耕于3C手机产业链、新型显示及半导体封测三大行业。”腾盛精密半导体装备事业部总监周云介绍道。
Tensun腾盛精密自成立之初便十分注重核心技术的研发投入，目前已经掌握了精密点胶及精密切割（划片）的核心技术，成为具备核心模块设计、整机及自动化系统集成能力的高科技型精密装备企业。
在3C手机产业链、TWS耳机、OLED、Mini-LED、MEMS、SIP系统级封装和半导体晶圆级封装等领域，Tensun腾盛精密的点胶与切割（划片）已经成为该领域的首选品牌，或者正在成为该领域进口设备替代的首选品牌。
在当前的国际形势和贸易摩擦下，半导体设备行业可谓是“风口浪尖”。对于腾盛精密接下来的发展规划和策略，周云指出，当前的行业现状更多体现出我们国内半导体产业，在高端制程和装备，人才方面的欠缺，这也从另一方面推动了半导体产业发展，激发更多企业和资源，去解决“卡脖子”的问题。腾盛精密在专注半导体制程中，注重核心技术的研发投入，紧贴市场需求，在点胶和划片关键制程技术上，进行制程技术储备，研发迭代更符合国内市场，更高精密、高要求的制程装备，打破国外垄断。
2023年，腾盛精密将继续投入研发力度，针对wafer saw、jig saw、精密点胶等系列产品，全面升级迭代，修炼内功，提升产品竞争力，在近1到2年逐步实现半导体行业进口代替。
中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德所言：“纳博会对促进和繁荣我国纳米科技的发展具有重要作用，纳博会的成长发展离不开园区坚实稳定的产业基础。在世界新一轮产业革命的历史交汇期，希望纳米科技工作者在独创独有和技术成果转化上下功夫，掌握纳米科技关键技术，突破“卡脖子”问题，为加快我国科技自立自强做出贡献。”
中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德所言：“纳博会对促进和繁荣我国纳米科技的发展具有重要作用，纳博会的成长发展离不开园区坚实稳定的产业基础。在世界新一轮产业革命的历史交汇期，希望纳米科技工作者在独创独有和技术成果转化上下功夫，掌握纳米科技关键技术，突破“卡脖子”问题，为加快我国科技自立自强做出贡献。”
来源：半导体芯闻
