一、半导体气动风囊泵选型指南
半导体超洁净气动风囊泵的选型需结合流量、温度、连接方式及特殊配置。如通用型，适用于低中高液温场景。最大流量有15L/min、30L/min、60L/min和100L/min四种，分别对应小流量精密输送、中等规模生产及大规模应用。
液体温度范围分为高温（5-180℃）和中温（5-100℃），其中15/30/60L/min型号为高温型，100L/min为中温型，满足不同工艺的温度要求。连接方式包括直管（T）、法兰（F2）和入珠（S），适应不同安装习惯；特殊配置如防爆型接近开关（01）或PNP型接近开关（02），满足特定安全需求。
二、半导体气动风囊泵的核心特点
选材上，泵体与液体接触部分采用超纯氟塑料（PTFE/PFA），这种材料耐化学腐蚀，不会释放金属离子或颗粒，确保输送的流体保持高洁净度；泵壳则用铝合金材质涂覆复合氟材料，既轻便又防腐蚀。
生产方面，在万、千、百级无尘车间通过流水线生产，产品一致性好。有扩口、入珠、法兰等多种接口，款型多样，特殊规格可定制。认证方面，通过ISO9001/14001/45001QES体系及CE欧盟安全认证，质量可靠。
三、半导体气动风囊泵的应用场景
半导体超洁净气动风囊泵泵广泛应用于半导体湿法制程，用于输送高纯化学品，避免污染芯片；太阳能光伏生产中，输送光伏浆料等材料；芯片封测环节，确保封装液体的洁净；液晶面板制造中，输送液晶材料；精细化工及环保领域，输送腐蚀性或高纯度流体。这些场景对洁净度要求极高，泵的低析出特性正好满足需求。
四、半导体气动风囊泵的结构与材质
泵的结构包括轴套、接管、缸体、风囊、阀座、阀体、阀芯等部件。轴套采用PTFE/PEEK，耐磨损且密封性好；接管用PFA/PTFE（如三氟莱PFA管、PTFE管等），耐腐蚀；缸体（非过流部件）为AL+4F，轻便且防腐蚀；风囊、阀座、阀体均用PTFE，确保与液体接触部分的洁净；阀芯用PTFE/PFA，兼顾耐腐蚀与密封。这些部件的设计确保泵在长期使用中保持高洁净度和可靠性。
五、半导体气动风囊泵的关键参数
最大流量决定了泵的输送能力，如15L/min适合小流量场景，100L/min适合大规模生产。供气压力范围1-5bar（部分型号2-7bar），影响泵的工作效率，压力越高，流量越大。
液体温度范围5-180℃（高温型）或5-100℃（中温型），适应不同工艺。空气消耗（NL/min）是能耗指标，如15L/min型号消耗270NL/min，越大的流量消耗越多。最大冲程速（spm）表示泵的运行速度，如15L/min型号为210spm，速度越快，输送效率越高。进出液管尺寸如1/2"PFA tube，适配不同管路。
供气接口如Rc1/4"，方便连接气源。最大自吸高度1-3m，说明泵的吸液能力，高度越高，适用场景越广。控制方式为电感式接近开关（可选防爆），漏液检测为电极式，确保运行安全。
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