| SEMI E47 Specification for 150 mm/200 mm Pod Handles | | 规定把手机械接口与尺寸要求，保证搬运/自动化兼容性 |
| SEMI E47.1 Mechanical Specification for FOUPs Used to Transport and Store 300 mm Wafers | | 规定FOUP关键机械接口/尺寸，确保AMHS/Load Port/Stocker互操作 |
| SEMI E48 Specification for SMIF Indexer Volume Requirement | | 规定SMIF Indexer体积/空间要求，保证系统装配与互换性 |
| | | 定义Host与设备之间交换消息结构/Streams/Functions的字典，与E4/E37配套 |
| SEMI E52 Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Liquids Used in Digital Mass Flow Controllers | | 统一DMFC使用气体/混合气/可汽化液体的引用与标定方式 |
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| SEMI E84 Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface | | 定义AMHS与设备Load Port之间载具自动交接的PIO信号与流程 |
| SEMI E85 Specification for Physical AMHS Stocker to Interbay Transport System Interoperability | AMHS Stocker-Interbay物理互操作规范 | 定义Stocker与Interbay运输系统物理接口/关键特征 |
| SEMI E87 Carrier Management (CMS) | | 定义Host与设备关于载具运输协调、执行与完成状态的通信 |
| SEMI E90 Substrate Tracking | | 用于300mm自动化中对wafer/substrate流转的追踪与状态管理 |
| SEMI E94 Control Job Management (CJM) | | 为复杂/重复加工场景提供对Process Jobs的监督级控制 |
| Equipment Acceptance Criteria / Electrical Acceptance Criteria | | 该缩写在不同语境有歧义：可指Fab设备交付质量/性能验收；也可指制程或设备放行前的电性门槛（如Vt、Leakage、Idlin） |
| Equivalent Acceleration Level | | |
| Equipment Automation Program | | 作为MES与设备之间的自动化桥梁，承载设备联机、派工、配方下载、数据采集等逻辑 |
| | | 自动化设备末端机械臂传感器，用于晶圆抓取定位实时反馈 |
| Electrical Area Variation | | |
